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多晶硅还原炉冷却水管路中的的流量千亿国际应用



多晶硅还原炉冷却对于现场安全至关重要,如不能及时对冷却水进行监控,将引起氢气泄漏,引起爆炸。热式流量千亿国际根据其产品特点——无可动部件,全不锈钢材质,防护等级高可全面满足化工行业尤其是在冷却水或是润滑油路上,是大多数化工企业常用的千亿国际类仪表!


多晶硅还原炉主要由底盘、含夹套冷却水的钟罩式双层炉体、电极、视镜孔、混和气进气管、混和气尾气出气管、炉体冷却水进水管、炉体冷却水出水管、底盘冷却水进水管、底盘冷却水出水管、电极冷却水进水管、电极冷却水出水管及其他附属部件组成,炉体主体采用不锈钢材质。


热式流量千亿国际在多晶硅还原炉水冷却中的应用


还原炉里面是用纯的氢气以及三氯氢硅,在1100°条件左右进行反应,生成的硅沉积在硅棒表面,慢慢的生长,一般都要72小时以上时间不间断的供料供电。炉壁式夹层,用循环水进行冷却。


危险系数极高,主要体现在以下几个方面:

1、冷却水供应不上烧坏炉壁,溅落炉内造成爆炸;

2、电极和视镜是整个还原炉最脆弱的地方,一定要保证冷却水;

3、氢气可能泄露,引起爆炸;

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热式流量千亿国际工作原理:


基于热式原理,在封闭的探头内包含两个电阻,其中一个被加热作为探测电阻,另一个未被加热作为基准电阻,当有介质流动时,感热传感器所接收到的热量将随介质的流速变化而变化,感热传感器将这温差信号转化成电信号,在流速达到某设定点时,热式流量千亿国际输出千亿国际量信号。


热式流量千亿国际原理图

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热式流量开关特点:


无活动部件,免维护。

安装方便,一种型号适用于多种管径要求。

千亿国际量连续调节,极低的压力损失。

结构紧凑,LED显示流动趋势及千亿国际状态。



热式流量千亿国际技术参数


插入式设定范围

1---150cm/s(水)3---300cm/s(油),20---2000cm/s(空气)

信号输出

PNP、NPN、继电器

供电

24V±20%DC

接通电源

最大400mA(PNP或NPN型)最大1A@36VAC/DC(继电器型)

空载电流

最大80mA

设定方式

电位器设定

耐压范围

100bar

介质温度变化

≤4℃/s

响应时间

1…13s,典型值2s

初始化时间

约8s

电气保护

反相,短路,过载保护

防护等级

IP67

介质温度

-20…90℃ 环境温度:-20…80℃  储存温度:-20…80℃

材质

探头:不锈钢,   外壳:不锈钢/铸铝

测量精度

±2%